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            深圳市中圖儀器股份有限公司

            PRODUCT DISPLAY

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            共聚焦三維表面形貌測(cè)量顯微鏡

            參  考  價(jià): 950000

            訂  貨  量: ≥1 臺(tái)

            具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

            產(chǎn)品型號(hào):VT6100

            品       牌:CHOTEST/中圖儀器

            廠商性質(zhì):生產(chǎn)商

            所  在  地:深圳市

            更新時(shí)間:2024-11-28 14:53:57瀏覽次數(shù):454次

            聯(lián)系我時(shí),請(qǐng)告知來自 化工儀器網(wǎng)
            產(chǎn)地類別 國產(chǎn) 價(jià)格區(qū)間 面議
            應(yīng)用領(lǐng)域 能源,電子/電池,鋼鐵/金屬,電氣,綜合
            VT6000共聚焦三維表面形貌測(cè)量顯微鏡用于對(duì)各種精密器件及材料表面進(jìn)行微納米級(jí)測(cè)量,可測(cè)各類包括從光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面,從納米到微米級(jí)別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等。

            中圖儀器VT6000共聚焦三維表面形貌測(cè)量顯微鏡用于對(duì)各種精密器件及材料表面進(jìn)行微納米級(jí)測(cè)量,可測(cè)各類包括從光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面,從納米到微米級(jí)別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等。

            共聚焦三維表面形貌測(cè)量顯微鏡


            VT6000共聚焦三維表面形貌測(cè)量顯微鏡是以共聚焦技術(shù)為原理、結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對(duì)器件表面進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面3D圖像,通過系統(tǒng)軟件對(duì)器件表面3D圖像進(jìn)行數(shù)據(jù)處理與分析,并獲取反映器件表面質(zhì)量的2D、3D參數(shù),從而實(shí)現(xiàn)器件表面形貌3D測(cè)量。


            產(chǎn)品功能

            1)3D測(cè)量功能:設(shè)備具備表征微觀3D形貌的輪廓尺寸及粗糙度測(cè)量功能;

            2)影像測(cè)量功能:設(shè)備具備二維平面輪廓尺寸的影像測(cè)量功能,可進(jìn)行長度、角度、半徑等尺寸測(cè)量;

            3)自動(dòng)拼接功能:設(shè)備具備自動(dòng)拼接功能,能夠?qū)崿F(xiàn)大區(qū)域的拼接縫合測(cè)量;

            4)數(shù)據(jù)處理功能:設(shè)備具備調(diào)整位置、糾正、濾波、提取四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能;

            5)分析工具功能:設(shè)備具備粗糙度分析、幾何輪廓分析、結(jié)構(gòu)分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能;

            6)批量分析功能:設(shè)備具備一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能,可實(shí)現(xiàn)批量數(shù)據(jù)文件的快速分析功能;

            7)便捷操作功能:設(shè)備配備操縱桿,支持操縱桿進(jìn)行所有位置軸的操作及速度調(diào)節(jié)、光源亮度調(diào)節(jié)、急停等;

            8)光源安全功能:光源設(shè)置無人值守下的自動(dòng)熄燈功能,當(dāng)檢測(cè)到鼠標(biāo)軌跡長時(shí)間未變動(dòng)后會(huì)自主降低熄滅光源,防止光源高亮過熱損壞,并有效延長光源使用壽命;

            9)鏡頭安全功能:設(shè)備配備壓力傳感器,并在鏡頭處進(jìn)行了彈簧結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),確保當(dāng)鏡頭碰撞后彈性回縮,進(jìn)入急停狀態(tài),大幅減小碰撞沖擊力,有效保護(hù)鏡頭和掃描軸,消除人為操作的安全風(fēng)險(xiǎn)。


            性能特點(diǎn)

            1、高精度、高重復(fù)性

            (1)以轉(zhuǎn)盤共聚焦光學(xué)系統(tǒng)為基礎(chǔ),結(jié)合高穩(wěn)定性結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)和3D重建算法,共同組成測(cè)量系統(tǒng),保證儀器的高測(cè)量精度。

            (2)儀器的隔震設(shè)計(jì)能夠消減底面振動(dòng)噪聲,儀器在部分環(huán)境中穩(wěn)定可靠,具有良好的測(cè)量重復(fù)性。

            2、一體化操作的測(cè)量分析軟件

            (1)測(cè)量與分析同界面操作,無需切換,測(cè)量數(shù)據(jù)自動(dòng)統(tǒng)計(jì),實(shí)現(xiàn)了快速批量測(cè)量的功能。

            (2)可視化窗口,便于用戶時(shí)事觀察掃描過程。

            (3)結(jié)合自定義分析模板的自動(dòng)化測(cè)量功能,可自動(dòng)完成多區(qū)域的測(cè)量與分析過程。

            (4)幾何分析、粗糙度分析、結(jié)構(gòu)分析、頻率分析、功能分析五大功能模塊齊全。

            (5)一鍵分析、多文件分析,自由組合分析項(xiàng)保存為分析模板,批量樣品一鍵分析,并提供數(shù)據(jù)分析與統(tǒng)計(jì)圖表功能。

            (6)可測(cè)依據(jù)ISO/ASME/EUR/GBT等標(biāo)準(zhǔn)的多達(dá)300余種2D\3D參數(shù)。

            3、精密操縱手柄

            集成X\Y\Z三個(gè)方向調(diào)整功能的操縱手柄,可快速完成載物臺(tái)平移、Z向聚焦等測(cè)量前工作。

            4、雙重防撞保護(hù)措施

            除軟件ZSTOP設(shè)置Z向位移下限位進(jìn)行防撞保護(hù)外,另在Z軸上設(shè)計(jì)有機(jī)械電子傳感器,當(dāng)鏡頭觸碰到樣品表面時(shí),儀器自動(dòng)進(jìn)入緊急停止?fàn)顟B(tài),保護(hù)儀器,降低認(rèn)為操作風(fēng)險(xiǎn)。

            共聚焦三維表面形貌測(cè)量顯微鏡


            應(yīng)用場(chǎng)景

            1、鐳射槽

            測(cè)量晶圓上激光鐳射槽的深度:半導(dǎo)體后道制造中,在將晶圓分割成一片片的小芯片前,需要對(duì)晶圓進(jìn)行橫縱方向的切割,為確保減少切割引發(fā)的崩邊損失,會(huì)先采用激光切割機(jī)在晶圓表面燒蝕出U型或W型的引導(dǎo)槽,在工藝上需要對(duì)引導(dǎo)槽的槽型深寬尺寸進(jìn)行檢測(cè)。

            共聚焦三維表面形貌測(cè)量顯微鏡

            2、光伏

            在太陽能電池制作工程中,柵線的高寬比決定了電池板的遮光損耗及導(dǎo)電能力,直接影響著太陽能電池的性能。共聚焦顯微鏡可以對(duì)柵線進(jìn)行快速檢測(cè)。此外,太陽能電池制作過程中,制絨作為關(guān)鍵核心工藝,金字塔結(jié)構(gòu)的質(zhì)量影像減反射焰光效果,是光電轉(zhuǎn)換效率的重要決定因素。共聚焦顯微鏡具有納米級(jí)別的縱向分辨能力,能夠?qū)﹄姵匕褰q面這種表面反射率低且形貌復(fù)雜的樣品進(jìn)行三維形貌重建。

            共聚焦三維表面形貌測(cè)量顯微鏡

            3、其他

            共聚焦三維表面形貌測(cè)量顯微鏡


            部分技術(shù)指標(biāo)

            型號(hào)VT6100


            行程范圍

            X100mm
            Y100mm
            Z100mm
            外形尺寸
            520*380*600mm
            儀器重量50kg
            測(cè)量原理共聚焦光學(xué)系統(tǒng)
            顯微物鏡10×;20×;50×;100×
            視場(chǎng)范圍120×120 μm~1.2×1.2 mm
            高度測(cè)量
            寬度測(cè)量
            XY位移平臺(tái)負(fù)載10kg
            控制方式電動(dòng)
            Z0軸掃描范圍10mm
            物鏡塔臺(tái)5孔電動(dòng)
            光源白光LED

            懇請(qǐng)注意:因市場(chǎng)發(fā)展和產(chǎn)品開發(fā)的需要,本產(chǎn)品資料中有關(guān)內(nèi)容可能會(huì)根據(jù)實(shí)際情況隨時(shí)更新或修改,恕不另行通知,不便之處敬請(qǐng)諒解

            如有疑問或需要更多詳細(xì)信息,請(qǐng)隨時(shí)聯(lián)系中圖儀器咨詢。

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